| ЭБС Biblioclub |
Электронный |
Родионов Ю. А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике: учебное пособие / Ю. А. Родионов - Москва, Вологда: Инфра-Инженерия, 2019. - 353 с. |
2019 |
Ссылка
|
| ЭБС Biblioclub |
Электронный |
Ильичев Е. В. Микро- и нанотехнологии: учебно-методическое пособие / Е. В. Ильичев, Б. И. Иванов; Новосибирский государственный технический университет - Новосибирск: Новосибирский государственный технический университет, 2018. - 64 с. |
2018 |
Ссылка
|
| ЭБС Biblioclub |
Электронный |
Лазеры в микро- и наноэлектронике: учебное пособие / С. П. Малюков, А. В. Саенко, Ю. В. Клунникова, А. В. Палий; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации; Южный федеральный университет; Южный федеральный университет, Инженерно-технологическая академия - Ростов-на-Дону, Таганрог: Южный федеральный университет, 2018. - 113 с. |
2018 |
Ссылка
|
| ЭБС Biblioclub |
Электронный |
Смычёк М. А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике: учебное пособие / М. А. Смычёк - 2-е изд. - Москва, Вологда: Инфра-Инженерия, 2019. - 401 с. |
2019 |
Ссылка
|
| ЭБС Biblioclub |
Электронный |
Васильев В. Ю. Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники: учебное пособие / В. Ю. Васильев; Новосибирский государственный технический университет - Новосибирск: Новосибирский государственный технический университет, 2019. - 107 с. |
2019 |
Ссылка
|
| ЭБС Biblioclub |
Электронный |
Удовиченко С. Ю. Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебное пособие / С. Ю. Удовиченко; Тюменский государственный университет - Тюмень: Тюменский государственный университет, 2016. - 228 с. |
2016 |
Ссылка
|