| Репозиторий ЮФУ (учебное пособие) |
Электронный |
Светличный Александр Михайлович. Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии, 2017. |
2017 |
Ссылка
|
| Каталог ТТИ |
Печатный |
Структуры кремний-на-изоляторе в микро- и наноэлектронике [Текст]: учеб. пособие по дисциплине "Технологические процессы микро- и наноэлектроники" : для студ. спец. 210104, 210201, 210202 всех форм обуч. / ТТИ ЮФУ, ФЭП, Каф. ТМ и НА ; сост. А. С. Наумченко - Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2009. - 70 с. |
2009 |
40
-
Таганрог, ул. Чехова 22А
40
|
| ЭБС Biblioclub |
Электронный |
Драгунов В. П. Микро- и наноэлектроника: учебное пособие / В. П. Драгунов, Д. И. Остертак - Новосибирск: Новосибирский государственный технический университет, 2012. - 38 с. |
2012 |
Ссылка
|
| ЭБС Лань |
Электронный |
Основы нанотехнологии: учебник / Н. Т. Кузнецов [и др.] - Москва: Лаборатория знаний"" (ранее ""БИНОМ. Лаборатория знаний", 2017. - 397 с. |
2017 |
Ссылка
|
| ЭБС Лань |
Электронный |
Галперин В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях / Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.И. - Москва: Лаборатория знаний"" (ранее ""БИНОМ. Лаборатория знаний", 2015. |
2015 |
Ссылка
|
| Каталог ТТИ |
Печатный |
Раскин А. А. Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники [Текст]: учеб. пособие для студ. вузов. Ч. 1 - М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 165 с. |
2010 |
2
-
Таганрог, ул. Чехова 22А
2
|